微量氮分析仪是专门用于连续分析N2/Ar和N2/He而设计的，它的N2检测器就是源于我们成功的HFADD的高频氩放电检测器，仪器利用对氮分子的选择性来检测氩气或氦气中微量氮。

微量氮分析仪的工作原理：

作为载气的高纯氩气以一定流速流经处在高频振荡电磁场中的石英管时，在管外施加1500V高电压，使石英管内氩气原子在100兆赫的高频电磁场振荡下运动，由于氩原子的电离能低于受振荡后的平均自由程能量，因而氩原子在管内被电离形成离子、电子及中性粒子的混合气体---等离子体，并且氩原子受激发放电产生弧光。当被测气体经分离柱后进入检测器中时，由于*性气体杂质的分子N2，H2，CH4等吸收并粹灭弧光，而O2和CO分子受激发后产生增强弧光。所产生光的强度变化与被测成分浓度成正比，故可以借此进行杂质定量分析。此种检测器被称为高频氩放电检测器。ADD高频氩放电检测器可以分析99.9999%级高纯氩中杂质，因此分析氩中氮含量可以达到10ppb。