高纯气体中微量杂质的分析是色谱分析的难点。目前国内在高纯气体分析领域多数采用的热导（TCD）检测器由于灵敏度有限，很难测定5ppm以下的杂质；氧化锆检测器由于是一种选择性的检测器，只能分析少数几种气体杂质；而氩离子检测器又往往带有放射源，均不能达到高纯气体分析的基本要求。随着国内高纯气体行业的发展和气体用户对气体纯度的要求越来越高，以上几种检测器已经不能完成对高纯气体中微量杂质的检测。本方法适用于高纯氮、纯氮、超纯氮以及各种高纯气体中的氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等多种高纯气体的检测。

　　高纯氩属于无色无味无毒气体，化学性质极不活泼，未形成任何化合物。相对密度ds(21.1℃)1.38。气体密度1.650kg/m3(21.1℃)；液体密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸点-185.9℃。熔点-189.2℃。采用空气分离提氩，即将液化的空气进行精馏，得到粗氩。抽出粗氩，经进一步提纯可得到高纯氩。

　　高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气。氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气；在钛、钴和其他活性金属的生产中用作屏蔽气；在黑色冶金中用于吹炼特种钢。

　　高纯氩分析气相色谱仪所有连接接口均采用1/8"VCR，保障了仪器的气密性。安装的阀门经过了严格的泄漏试验，并且被装在了有Ar气吹扫的机壳内，*与大气隔离。因此杜绝了环境污染，从而保证仪器有更稳定、更灵敏和更长的使用寿命，采用ADD氩放电离子化检测器，主要用于高纯氩以及超纯氩中H2、O2、N2、CH4、CO、CO2的分析。